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热场发射环境扫描电镜

环境扫描电镜.jpg

生产厂家:美国FEI

设备型号:Quanta FEG 450

安放地点:昌平创新园南楼102

负责人:段晓鸽

联系电话:010-62332598-6102

主要功能

该设备综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势,适用对各种样品表面形貌、成分、取向等进行高分辨的观察和分析,包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、放气样品、加热样品、冷却样品等。除了对样品进行静态观察之外,还可对样品进行动态过程的观察和分析,如样品脱水、增湿、加热、凝固等过程。广泛应用于金属材料、无机非金属材料、冶金、汽车、生物、医学、刑侦技术等研究开发领域。

主要技术参数

真空模式:高真空模式、低真空模式、环境真空模式

分辨率:1.0nm@30kV(高真空模式)

1.4nm@30kV(低真空模式)

1.4nm@30kV(环境真空模式)

放大率:10×~1,000,000×

加速电压:0.2kV~30kV

探针电流:最大200nA

样品台:行程:X=Y=100mm;Z=60mm

旋转:360°连续

倾斜:-5°~+70°

配置

1.探测器

ETD:二次电子探头(高真空模式)

LFD:二次电子探头(低真空模式)

GSED:二次电子探头(环境扫描模式)

BSED:背散射电子探头

2.X射线能谱仪(EDS)

型号: TEAM EDS(EDAX)

能量分辨率:125eV@MnKα

探测元素范围:Be4-U92

3.电子背散射衍射(EBSD)分析系统

型号: Hikari XP(EDAX)

取向精度:优于0.1°

采集速度:650 Hz(点/秒)

4.热台

温度范围:23℃-1500℃

加热速度:≤50℃/min

温度控制精度:~25℃

冷却:循环水冷

气体类型:水蒸气、空气、氮气、其他气体

实验室预约

https://labstudio.maplebim.com/